Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/10889/10928
Title: Παρασκευή μεμβρανών πορώδους πυριτίου και χαρακτηρισμός με μικροσκόπιο ηλεκτρονικής σάρωσης (SEM)
Other Titles: Fabrication of porous silicon membranes and characterization with scanning electron microscope (SEM)
Authors: Δημητρόπουλος, Μαρίνος
Keywords: Πυρίτιο
Πόροι
Ανοδίωση
Χαρακτηρισμός
Μηχανικό σχέδιο
Keywords (translated): Silicon
Ppores
Anodization
Characterization
Mechanical design
Abstract: Το αντικείμενο της παρούσας διπλωματικής εργασίας αποτέλεσε το πορώδες πυρίτιο, και συγκεκριμένα η διερεύνηση των συνθηκών σχηματισμού του που οδηγούν στα επιθυμητά μορφολογικά χαρακτηριστικά των μεμβρανών. Παράλληλα με τη διερεύνηση των μορφολογιών, υλοποιήθηκαν διάφορες τεχνικές αποκόλλησης (lift-off) του στρώματος πορώδους πυριτίου που είχε δημιουργηθεί για την απόκτηση ελεύθερων μεμβρανών (free-standing membranes), κατάλληλου πάχους και μηχανικής σταθερότητας για εφαρμογές που αναπτύχθηκαν στο εργαστήριο.
Abstract (translated): The subject of the present study was porous silicon, and more specifically the investigation of the formation parameters that lead to the desired morphological characteristics of the membranes. In parallel with the morphological assessment, a variety of techniques were implemented in order to detach (lift-off) the porous layer of silicon that was fabricated and obtain free-standing membranes, of appropriate thickness and mechanical stability for applications that were developed within the lab.
Appears in Collections:Τμήμα Φυσικής (ΔΕ)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Dimitropoulos(phys).pdf4.85 MBAdobe PDFView/Open


This item is licensed under a Creative Commons License Creative Commons