Μελέτη της κατανάλωσης ισχύος στις εκκενώσεις αίγλης αερίων και εφαρμογή στην εναπόθεση αμόρφου υδρογονωμένου πυριτίου
Loading...
Files
Date
2009-12-14T08:42:44Z
Authors
Σπηλιόπουλος, Νικόλαος
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
-
Description
Keywords
Χημική τεχνολογία, Πλάσμα, Χημικοί αντιδραστήρες